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T/FJAS 001-2024 濕電子化學(xué)品 再生丙二醇甲醚醋酸酯
范圍
本文件規(guī)定了再生丙二醇甲醚醋酸酯的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本文件適用于以濕電子化學(xué)品行業(yè)含丙二醇甲醚醋酸酯回收液為原料,經(jīng)過提純的丙二醇甲醚醋酸酯再生產(chǎn)品(以下簡(jiǎn)稱產(chǎn)品),主要用于顯示面板制造行業(yè)等。
術(shù)語(yǔ)和定義
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
濕電子化學(xué)品 wet chemicals
濕電子化學(xué)品又稱超凈高純電子化學(xué)品,是微電子、光電子濕法工藝(主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環(huán)節(jié))中使用的各種液體化工材料。
丙二醇甲醚醋酸酯 1-methoxy-2-propyl acetate
丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA),分子式為C6H12O3。在液晶顯示器制造行業(yè),用于ARRAY和CF工段清洗稀釋等。
回收液 Iiquid recycIing
主要含有PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)、酮類化合物、苯類化合物、乙氧基酯類化合物、甲氧基酯類化合物等雜質(zhì)。
技術(shù)要求
產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的要求。
試驗(yàn)方法
水分的測(cè)定
按 GB/T 6283 的規(guī)定進(jìn)行測(cè)定。
GB/T 6283-2008 化工產(chǎn)品中水分含量的測(cè)定 卡爾·費(fèi)休法(通用方法)
京都電子KEM 直接電量滴定法卡爾費(fèi)休水分儀 MKV-710S